Specificație | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (șină de rulment de aer) |
Tip motor | Motor trifazat fara fier | Motor bobină+ |
Rezoluţie | Cantitate digitală implicită de 100 nm | 1vpp până la 5nm |
Impingerea motorului | Continuu 60N/vârf 210N | Continuu 60N/vârf 210N |
Dimensiunea minimă a pasului[nm] | 200 nm | 100 nm |
Cursă [mm] | 200×200 | 10 |
Repetabilitate [um] | ±0,3 | |
Precizia poziției [um] | ±1 | ±0,5 |
planeitate [um] | 10um | 5um |
Corectitudine [um] | 1um | 1um |
Viteza maximă [mm/s] | 500 mm/s | 30 mm/s |
Capacitate de încărcare [kg] | 5 kg (axa Z cu greutate de echilibrare pneumatică a forței constante) |